ترك رسالة
إذا كنت مهتمًا بمنتجاتنا وترغب في معرفة المزيد من التفاصيل، يرجى ترك رسالة هنا، وسنرد عليك في أقرب وقت ممكن.
ذراع روبوتية مصنوعة من رقائق الألومينا والزركونيا يُعدّ الهيكل الأساسي للمعدات الآلية المتطورة، مما يُمكّن من التشغيل عالي السرعة والدقة والنظافة. وبفضل الخصائص الفائقة المتأصلة في المادة - خفيفة الوزن، قوية، مستقرة، ونظيفة - فإنه يلبي المتطلبات القصوى للروبوتات الصناعية في المجالات المتطورة مثل أشباه الموصلات والإلكترونيات من حيث السرعة والدقة والتوافق البيئي، ليُشكّل بذلك "المفصل الدقيق" للتصنيع الذكي الحديث.
Al2O3 ZrO2 ذراع روبوتية للرقائق لأشباه الموصلات
تحديد موقع المنتج
سيراميك عالي الأداء ذراع روبوتية للرقاقةصُممت هذه الوحدة لنقل رقائق السيليكون بدقة عالية، بقياس 300 مم/450 مم، بالإضافة إلى حوامل/صواني الرقائق. وهي مصنوعة من مادة الألومينا عالية النقاء (Al₂O₃) بنسبة تزيد عن 99.5%، ما يجعلها مناسبة لعمليات التقاط ووضع الرقائق وتحديد مواقعها في وحدات EFEM (وحدة الواجهة الأمامية للمعدات)، وغرف النقل الفراغي، ومعدات المعالجة ذات درجات الحرارة العالية.
المزايا التكنولوجية الأساسية
1. نظافة فائقة وتحكم خالٍ من التلوث المعدني
(1) نقاء المادة: يتم استخدام ألومينا عالية النقاء بنسبة 99.5%-99.8%، مع محتوى شوائب معدنية <50 جزء في المليون، مما يضمن عدم ترسب أيونات المعادن مثل الحديد والنحاس والصوديوم.
(2) خصائص السطح: مصقول كمرآة إلى Ra≤0.1μm، بدون بنية مسامية، مما يمنع تساقط الجسيمات.
(3) التوافق مع الفراغ: تضمن معالجة التجفيف بالتفريغ فقدان الكتلة الكلي (TML). <0.1%، يفي بمعايير غرف التنظيف من الفئة 1 وبيئة الفراغ العالي (<متطلبات (10⁻⁶ باسكال).
2. التحكم في التفريغ الكهروستاتيكي (ESD) - الحماية على مستوى الرقاقة
(1) تصميم تبديد الشحنات الكهروستاتيكية: سيراميك متلبد متكامل اختياري لتبديد الشحنات الكهروستاتيكية (غير مطلي)، مع مقاومة سطحية يتم التحكم فيها بدقة عند 10⁶–10⁹ أوم/مربع.
(2) التحكم بالضغط الكهروستاتيكي: الجهد الكهروستاتيكي السطحي <٥٠ فولت بعد اختبار الاحتكاك، مما يمنع بشكل فعال تلف الدوائر النانوية الناتج عن التفريغ الكهروستاتيكي. (التلف)
(3) لا يوجد خطر تقشير الطلاء: الهيكل المضاد للكهرباء الساكنة المصبوب من قطعة واحدة يتجنب تلوث الجسيمات الناتج عن تقشير الطلاءات الموصلة التقليدية أثناء الاستخدام.
3. دقة نقل البيانات على مستوى الميكرون
(1) الدقة الهندسية: التسطيح ≤0.005 مم، والتوازي ≤0.003 مم، مما يضمن تكرار وضع الرقاقة أثناء عمليات الطباعة الضوئية والمحاذاة.
(2) الاستقرار الحراري: معامل التمدد الحراري (CTE) ~7×10⁻⁶/K، توافق حراري ممتاز مع رقائق السيليكون (2.6×10⁻⁶/K)، والحفاظ على استقرار الأبعاد ضمن نطاق درجة حرارة العملية 100-300 درجة مئوية.
(3) خفيف الوزن وصلابة عالية: الكثافة 3.8 جم/سم³ فقط، أخف بنسبة 35% من سبائك الألومنيوم، معامل المرونة ~300 جيجا باسكال، مما يحقق نقلًا بدون اهتزاز تحت تسارع عالٍ (>3 جم) للأذرع الروبوتية.
4. نظام امتزاز فراغي متعدد الوظائف
(1) الحفاظ على الفراغ لفترة طويلة: يمكن لهيكل أخدود الفراغ المصمم بدقة الحفاظ على ضغوط تتراوح من -85 كيلو باسكال إلى -80 كيلو باسكال لأكثر من 60 ثانية ومن -80 كيلو باسكال إلى -25 كيلو باسكال لأكثر من 35 ثانية أثناء اختبار التثبيت الذاتي للفراغ، مما يضمن سلامة الرقاقة في حالة انقطاع الغاز المفاجئ.
(2) انخفاض تلف التلامس: يؤدي أخدود الامتصاص الفراغي، بالإضافة إلى تصميم تعليق برنولي، إلى إجهاد التلامس <0.1 ميجا باسكال، مناسب للتعامل الآمن مع الرقائق الرقيقة (<100 ميكرومتر) والرقائق الملتوية.
خطوط الإنتاج وخيارات التخصيص
| نوع المنتج | الميزات التقنية | السيناريوهات القابلة للتطبيق |
| نوع الشفط الفراغي | خزان امتصاص خزفي مسامي/مفرغ من الهواء، يدعم رقائق السيليكون من 4 إلى 12 بوصة | تحميل رقائق السيليكون بتقنية EFEM، ونقلها عبر غرفة التحميل، وتحميل وتفريغ معدات التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP) |
| نوع برنولي | باستخدام مبدأ تعليق تدفق الهواء، تكون الفجوة بين الرقاقة والذراع 0.1-0.3 مم. | رقائق أغشية حساسة، عمليات بدون تلامس من الجهة الخلفية، رقائق رقيقة للغاية (<50 ميكرومتر) |
| نوع قبضة الحافة | يقوم بتثبيت حافة الرقاقة ميكانيكياً، مما يحقق عدم وجود أي اتصال بين الجانبين الأمامي والخلفي. | معدات الطباعة الحجرية والقياس على الوجهين |
| نوع مدمج في الدرج | حامل رقائق متكامل، يدعم النقل الدفعي لرقائق متعددة. | معدات المعالجة الدفعية، عملية التلدين |
| درجة حرارة عالية | يمكنه تحمل درجات حرارة فورية تزيد عن 600 درجة مئوية ويستخدم في النقل الساخن. | معدات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD) والمعالجة الحرارية السريعة (RTP). |
سيناريوهات التطبيق الرئيسية
1. أنظمة نقل رقائق السيليكون وأنظمة تحميل الرقائق الإلكترونية
(1) رقائق السيليكون 300 مم / 450 مم بين حاوية رقائق السيليكون ذات الفتحة الأمامية (FOUP) ومعدات المعالجة.
(2) يطابق التمدد الحراري مع رقائق السيليكون، مما يتجنب انحراف الموضع الناتج عن دورات درجة الحرارة.
2. نقل غرفة المعالجة ذات درجة الحرارة العالية:
(1) معدات الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الفيزيائي للبخار: تتحمل بيئات المعالجة ذات درجات الحرارة العالية (>300 درجة مئوية)، دون تشوه حراري أو انبعاث غازات.
(2) فرن الانتشار: يقوم بتحميل وتفريغ الرقاقات في مناطق ذات درجات حرارة عالية تزيد عن 1000 درجة مئوية، ويستبدل الأذرع المعدنية لتجنب التلوث الناتج عن التوصيل الحراري.
3. عمليات التنظيف والتعقيم الرطب
(1) مقاوم للتآكل الناتج عن الأحماض القوية (HF، HCl) والقلويات القوية (KOH، NH₄OH)، مناسب لنقل التجفيف بعد تنظيف الرقاقة وحفرها (مجفف مارانجوني).
4. التغليف والاختبار المتقدمان
(1) معالجة الرقاقات الرقيقة: يمنع تكسر الرقاقات باستخدام مبدأ برنولي.
(2) معالجة الأجهزة الحساسة للتفريغ الكهروستاتيكي: حماية سيراميكية مُبددة للكهرباء لمنع تلف الجهاز
المواصفات الفنية
| مؤشرات الأداء | تحديد |
| مادة | ألومينا عالية النقاء (Al₂O₃ ≥99.5٪)، مع نوع مضاد للكهرباء الساكنة اختياري. |
| حجم الرقاقة المناسب | من 4 بوصات (100 مم) إلى 12 بوصة (300 مم)، مع توفر أحجام مخصصة تصل إلى 450 مم. |
| التسطيح | ≤0.005 مم (سطح الامتصاص الحرج) |
| خشونة السطح | Ra≤0.1μm (درجة المرآة)، Ra≤0.02μm درجة المرآة الفائقة اختيارية. |
| المقاومة السطحية | النوع العازل: >10¹⁴ أوم·سم؛ النوع المُبدد للشحنات الساكنة: 10⁶–10⁹ أوم/مربع |
| قدرة الاحتفاظ بالفراغ | مدة الثبات > 60 ثانية عند -85 كيلو باسكال (الاختبار القياسي) |
| نطاق درجة الحرارة | درجة حرارة التشغيل على المدى الطويل: من -50 درجة مئوية إلى +350 درجة مئوية؛ درجة الحرارة القصوى على المدى القصير: +600 درجة مئوية |
| قوة الانحناء | ≥350 ميجا باسكال |
| ترسيب المعادن | <1 جزء في المليار (اختبار الغمر في الماء منزوع الأيونات) |
| فئة الغرف النظيفة | متوافق مع معيار ISO Class 1، وتم التحقق من صحته من خلال التنظيف بالبخار باستخدام الكحول الأيزوبروبيلي والتنظيف بالموجات فوق الصوتية. |
معايير الجودة والشهادات
شهادة المواد: توفر تقارير تحليل تركيب المواد (ICP-MS)، المتوافقة مع معايير SEMI.
التحقق من النظافة: يتوافق مع مواصفات SEMI F57 (أنظمة السوائل عالية النقاء) و SEMI E78 (التحكم الكهروستاتيكي).
معايير الحجم: تتبع معايير SEMI M1 (أبعاد الرقاقة) و SEMI E1.9 (الواجهات الميكانيكية).
نظام إدارة الجودة: حاصل على شهادة ISO 9001، ويدعم عملية الموافقة على أجزاء الإنتاج (PPAP) في صناعة أشباه الموصلات.
خدمات مخصصة
نقدم خدمات تخصيص شاملة، بدءًا من اختيار المواد ومحاكاة ديناميكيات السوائل، مرورًا بالتصنيع الدقيق، وصولًا إلى تنظيف غرف الأبحاث النظيفة: (1) تصميم حلقة التفريغ: تحسين حجم المسام وتصميم القنوات بناءً على ضغط مصدر التفريغ لدى العميل لضمان امتصاص متجانس. (2) تخصيص الحماية من التفريغ الكهروستاتيكي: ضبط مقاومة السطح بدقة (في نطاق 10⁴–10¹¹ أوم) لتتوافق مع متطلبات السلامة الكهروستاتيكية الخاصة بالعملية. (3) هيكل خفيف الوزن: تقليل الوزن بنسبة 20-30% مع الحفاظ على الصلابة من خلال تحسين التصميم الطوبولوجي وتصميم هيكل التجويف. (4) الوسم والتتبع: دعم الوسم بالليزر أو النقش الميكانيكي لتلبية متطلبات تتبع مكونات أشباه الموصلات.
IPv6 الشبكة المدعومة
ترك رسالة
امسح ضوئيًا إلى WeChat :
امسح ضوئيًا إلى واتساب :
