ترك رسالة
إذا كنت مهتمًا بمنتجاتنا وترغب في معرفة المزيد من التفاصيل، يرجى ترك رسالة هنا، وسنرد عليك في أقرب وقت ممكن.
هذا ظرف تفريغ من الألومينا بنسبة 99.9% يُصنع هذا المنتج باستخدام مادة سيراميكية دقيقة من الألومينا (Al₂O₃) فائقة النقاء بنسبة 99.9%، ويتم تصنيعه عبر التلبيد بدرجة حرارة عالية والتشغيل الدقيق؛ وهو مصمم خصيصًا لقطاعات أشباه الموصلات والإلكترونيات الضوئية والتصنيع الدقيق. يتميز بصلابة عالية، ومعامل تمدد حراري منخفض، وسطح مستوٍ للغاية، وبنية مسامية دقيقة منتظمة، مما يتيح تثبيتًا فراغيًا مستقرًا وغير ضار وخالٍ من التلوث لقطع العمل الدقيقة مثل الرقائق وركائز السيليكون والألواح الزجاجية.
ظرف تفريغ مصنوع من سيراميك الألومينا المسامي عالي النقاء بنسبة 99.9%
وصف المنتج
هذا ظرف تفريغ سيراميكي عالي النقاء بنسبة 99.9% يُستخدم هذا المنتج كعنصر تثبيت دقيق في الفراغ للمعدات المستخدمة في فحص الرقاقات، والطلاء البصري، ومعالجة الركائز الإلكترونية. يتميز سطح التثبيت بتصميم تدفق هواء سداسي المناطق مع أخاديد حلزونية متحدة المركز، مما يضمن ضغطًا سلبيًا موحدًا لتثبيت الركائز الدقيقة بثبات، مثل رقاقات 4/6 بوصة والزجاج فائق الرقة. يوفر الألومينا عالي النقاء عزلًا كهربائيًا استثنائيًا، ومقاومة كيميائية عالية (للأحماض والقلويات)، وثباتًا في درجات الحرارة العالية؛ فهو يمنع حدوث شرارات كهربائية عالية الجهد داخل الحجرة، ويقضي على التلوث الناتج عن الشوائب. يُنتج السطح المصقول الكثيف الحد الأدنى من الجسيمات، مما يُحسّن بشكل فعال إنتاجية المنتج. بالمقارنة مع مثبتات كربيد السيليكون أو الزركونيا، يوفر هذا المنتج أداءً فائقًا من حيث التكلفة في تطبيقات درجات الحرارة المنخفضة إلى المتوسطة، دون التعرض لتآكل البلازما الشديد. المنتج قابل للتخصيص بالكامل من حيث الأبعاد، ومسارات تدفق الهواء، وقنوات التسخين، ويخضع لاختبار تسرب الفراغ والتنظيف في غرف نظيفة قبل الشحن، مما يوفر خدمة تخصيص شاملة لسيراميك الألومينا لمصنعي أشباه الموصلات، والبصريات، والإلكترونيات العالميين.
مواصفات المنتج
1. الأبعاد: دائري (حسب الطلب)؛ القطر 80-300 مم، السماكة 5-30 مم؛ استواء سطح القرص ≤0.002 مم، التوازي ≤0.001 مم
2. بنية أخدود قناة الهواء
المزايا الأساسية للمنتج
1. نقاء فائق ونظافة استثنائية
بفضل نقاء الألومينا الذي يبلغ ≥99.9% ومستويات الشوائب التي يتم التحكم فيها بدقة مثل الصوديوم والحديد والسيليكون (Na ≤2 جزء في المليون، Fe ≤3 جزء في المليون، Si ≤10 جزء في المليون)، تمنع المادة بشكل فعال تلوث الأيونات المعدنية وعيوب الجسيمات أثناء معالجة الرقائق، مما يلبي متطلبات النظافة الصارمة لعمليات التصنيع المتقدمة.
2. بنية دقيقة المسام لشفط منتظم
باستخدام تقنية السيراميك المسامي، تتميز هذه المادة بنطاق حجم مسام دقيق يتراوح بين 2 و100 ميكرومتر (قابل للتخصيص)، ومسامية تتراوح بين 30% و50%، وشبكة مسام مترابطة. يتم توزيع قوة الشفط بالتساوي، مع التحكم في فرق الضغط ضمن نطاق ±5 كيلو باسكال على مساحة 10×10 مم، مما يضمن بقاء القطع الرقيقة (مثل رقائق السيليكون والأغشية الرقيقة) خالية من التشوه وعلامات الشفط.
3. دقة هندسية فائقة
التسطيح: ≤3 ميكرومتر (4-6 بوصة)، ≤5 ميكرومتر (8 بوصة)، ≤10 ميكرومتر (12 بوصة)
التوازي: ≤3 ميكرومتر
خشونة السطح: Ra ≤ 0.1 ميكرومتر (تشطيب يشبه المرآة)
تؤدي عمليات الطحن والتلميع الدقيقة إلى سطح أملس ومصقول، مما يزيل خطر خدش قطعة العمل.
4. خصائص فيزيائية وكيميائية استثنائية
صلابة عالية: صلابة فيكرز ≥ 1700 HV؛ مقاومة ممتازة للتآكل وعمر خدمة يتجاوز بكثير عمر أكواب الشفط المعدنية التقليدية
قوة انحناء عالية: ≥379 ميجا باسكال؛ قدرة تحمل عالية للأحمال
مقاومة عالية للحرارة: درجة حرارة تشغيل قصوى تصل إلى 1700 درجة مئوية؛ معامل تمدد حراري منخفض (6.5–8.0×10⁻⁶/درجة مئوية) وثبات حراري ممتاز
الخمول الكيميائي: مقاوم للتآكل الناتج عن الأحماض القوية والقلويات القوية والمذيبات العضوية؛ مناسب لبيئات عمليات التنظيف والحفر المختلفة
عزل كهربائي ممتاز: مقاومة حجمية >1×10¹⁴ أوم·سم (عند 25 درجة مئوية)؛ قوة عزل كهربائي ≥18 كيلو فولت/مم
5. تصميم معياري لمرونة التكيف.
يتم ربط سطح الشفط الخزفي بدقة بالقاعدة (المتوفرة من الفولاذ المقاوم للصدأ أو سبائك الألومنيوم أو السيراميك)، مما يدعم التشغيل ثنائي الوضع: الشفط الفراغي وإطلاق الضغط الإيجابي. يمكن تخصيص الأشكال الهندسية المعقدة للأسطح والواجهات الهوائية لتناسب نماذج المعدات المحددة، مما يضمن التوافق مع معدات أشباه الموصلات السائدة.
المواصفات الفنية
| نقاء المادة | Al₂O₃ ≥ 99.9% |
| كثافة | ≥3.85 جم/سم³ |
| المسامية | 30%–50% (قابلة للتعديل) |
| حجم المسام الدقيقة | 2-100 ميكرومتر (قابل للتخصيص) |
| التسطيح | ≤3–10 ميكرومتر (حسب الحجم) |
| التوازي | ≤3 ميكرومتر |
| خشونة السطح | Ra ≤ 0.1 ميكرومتر |
| قوة الانحناء | ≥379 ميجا باسكال |
| صلابة فيكرز | ≥1700 HV |
| الموصلية الحرارية (25 درجة مئوية) | 29-30 واط/م·ك |
| معامل التمدد الحراري | 6.5–8.0 ×10⁻⁶/درجة مئوية |
| المقاومة الحجمية (25 درجة مئوية) | >1×10¹⁴ أوم·سم |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1700 درجة مئوية |
| مقاس قياسي | 4 بوصة / 6 بوصة / 8 بوصة / 12 بوصة (قابلة للتخصيص) |
| المادة الأساسية | الفولاذ المقاوم للصدأ / سبائك الألومنيوم / السيراميك |
تطبيقات المنتج
1. تصنيع أشباه الموصلات
ترقيق الرقاقات وتقطيعها وتنظيفها ومعالجتها: التثبيت الفراغي الدقيق لرقاقات السيليكون ورقاقات كربيد السيليكون (SiC) وركائز الياقوت.
التلميع الكيميائي الميكانيكي (CMP): يعمل كظرف فراغ لمنصة التلميع، مما يضمن بقاء الرقاقة مسطحة وثابتة دون انزلاق أثناء العملية.
الطباعة الضوئية والحفر: تستخدم لتحديد موضع الرقاقات ونقلها؛ مقاومة للتآكل البلازمي.
2. الإلكترونيات الضوئية والشاشات
معالجة وفحص دقيق لألواح شاشات الكريستال السائل (LCD) وركائز شاشات OLED ومكونات الزجاج البصري.
3. التصنيع الدقيق
عمليات الطحن والحفر والمعالجة بالليزر للركائز الخزفية والصفائح المعدنية الرقيقة ومواد الأغشية الرقيقة.
سلسلة المنتجات
| اسم السلسلة | الإجراءات المطبقة | المواصفات النموذجية | سمات |
| كوب شفط رقيق | طحن وترقيق الجانب الخلفي للرقاقة | 8 بوصة / 12 بوصة | صلابة عالية، مقاومة للضغط العالي |
| كوب شفط قاطع | تقطيع رقائق الويفر | 6 بوصة / 8 بوصة | مسامات دقيقة مضادة للانسداد؛ امتصاص مستقر. |
| تنظيف أكواب الشفط. | تنظيف الرقاقات وحفرها | 8 بوصة / 12 بوصة | مقاوم للأحماض والقلويات؛ يتمتع بثبات كيميائي جيد. |
| ظرف تثبيت فراغي CMP | التلميع الكيميائي والميكانيكي | 8 بوصة / 12 بوصة | تسطيح فائق؛ تسطيح الجانب الخلفي ≤1 ميكرومتر. |
| كوب شفط رافع | نقل وفرز الرقائق | 4 بوصات - 12 بوصة | تصميم خفيف الوزن، استجابة سريعة |
ضمان الجودة
خدمات التخصيص
نقدم خدمات التخصيص بناءً على رسوماتك أو عيناتك، ونوفر الخيارات التالية المصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك:
1. تصميمات مخصصة لأبعاد وأشكال خاصة
2. أحجام المسام الدقيقة ومستويات المسامية القابلة للتعديل
3. معالجات طلاء الأسطح (مثل: مضاد للكهرباء الساكنة، مقاوم للبلازما)
4. مواد أساسية وواجهات توصيل مصممة خصيصًا
ورشة عملنا
ورشة عمل CNC |
غرفة الاختبار |
ورشة تجليخ الأسطح |
ورشة التلبيد |
ورشة طحن دائرية |
ورشة ماكينات قولبة الحقن |
لماذا تختارنا؟
1. البحث والتطوير المخصص، بدلاً من تكييف المنتج القياسي
2. التحكم العميق في علم المواد: اختيار المواد بناءً على الاحتياجات، وتحسين البنية المجهرية، وتناسق الدفعات
3. قدرة التصنيع الدقيق: يمكن أن تصل درجة التسطيح إلى 0.001 مم، والتوازي إلى 0.002 مم، والخشونة Ra إلى 0.1 ميكرومتر.
التعليمات
س1: ما هي المنتجات التي تقدمها شركتكم؟
نحن متخصصون في السيراميك عالي الأداء مثل الألومينا ونيتريد السيليكون، ونوفر مواد عازلة ومكونات هيكلية وأجزاء مقاومة للتآكل وحلولاً مخصصة.
س2: هل يمكنك تخصيص الأجزاء غير القياسية؟
نعم. نحن ندعم المعالجة بناءً على الرسومات المقدمة والتطوير التقني التعاوني، ونقدم خدمة عملية كاملة من التصميم إلى الإنتاج الضخم.
س3: ماذا عن الدقة ووقت التسليم؟
التفاوت القياسي ±0.05 مم، درجة الدقة ±0.01 مم؛ العينات من 7 إلى 15 يومًا، الطلبات بالجملة من 20 إلى 30 يومًا.
س4: ما هي مجالات التطبيق الرئيسية؟
صناعات الطاقة والإلكترونيات والآلات والكيماويات والفضاء.
س5: ما هي إجراءات ضمان الجودة؟
فحص الجودة الشامل للعملية، وتقديم تقارير المواد وبيانات اختبار الأداء، ودعم شهادات واختبارات الجهات الخارجية.
س6: هل تقدمون الدعم الفني؟
نقدم دعماً احترافياً يشمل استشارات اختيار المواد، وتحسين التصميم، وتحليل الأعطال.
IPv6 الشبكة المدعومة
ترك رسالة
امسح ضوئيًا إلى WeChat :
امسح ضوئيًا إلى واتساب :
