حوامل رقائق الألومينا هي مكونات مصممة بدقة عالية من سيراميك الألومينا عالي النقاء (Al₂O₃)، مصممة لحمل ونقل رقائق السيليكون. تُستخدم على نطاق واسع في عمليات تصنيع رقائق أشباه الموصلات، مثل التلبيد، والانتشار، والتلدين، وطلاء الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الذري الطبقي، والتقطيع بالليزر، وتغليف الرقائق. وبفضل مقاومتها الممتازة لدرجات الحرارة العالية، وثباتها الكيميائي العالي، وسطحها المستوي للغاية، أصبحت هذه الحوامل من المواد الاستهلاكية الأساسية في صناعة رقائق السيليكون.
موردو ومصنعو أقراص الألومينا لحاملات رقائق أشباه الموصلات المتقدمة والمخصصة
وصف المنتج
نقائنا العالي حوامل رقائق سيراميكية (Al₂O₃ ≥99.5%) تخضع هذه الرقاقات لعمليات تلبيد كثيفة وطحن دقيق. تتميز بسطح مستوٍ بدقة تتراوح بين 0.02 و0.05 مم، ولمسة نهائية لامعة كمرآة، مما يضمن تلامسًا موحدًا للرقاقة، وتثبيتًا مستقرًا في الفراغ أو باستخدام التثبيت الكهروستاتيكي، وسماكة طبقة رقيقة متناسقة على كامل سطح الرقاقة. تتحمل هذه الرقاقات درجات حرارة تتجاوز 1600 درجة مئوية، وتوفر مقاومة ممتازة للمواد الكيميائية والبلازما، وتنتج الحد الأدنى من الجسيمات؛ كما أنها تقاوم التشوه والتلوث حتى بعد دورات حرارية متكررة في غرف الحفر والترسيب والانتشار والتنظيف. يغطي نطاق المنتجات جميع أحجام الرقاقات القياسية من 2 إلى 12 بوصة، مع ميزات قابلة للتخصيص - مثل مصفوفات الثقوب الفراغية، ودبابيس المحاذاة، والملامح المتدرجة - المتوفرة وفقًا لرسومات تصميم محددة.
ميزات المنتج
1. مادة عالية النقاء
يستخدم سيراميك الألومينا عالي النقاء بنسبة 99.5٪ - 99.8٪، مما يمنع بشكل فعال تلوث الرقاقة الناتج عن تسرب أيونات المعادن ويلبي معايير النظافة لعمليات أشباه الموصلات.
2. أداء استثنائي في درجات الحرارة العالية
مناسب للاستخدام طويل الأمد في درجات حرارة تتجاوز 1600 درجة مئوية؛ يتميز بمعامل تمدد حراري منخفض ومقاومة ممتازة للصدمات الحرارية، مما يضمن عدم حدوث تشقق أو تشوه أثناء دورات التسخين والتبريد المتكررة.
3. دقة تصنيع فائقة
يحقق التسطيح والتوازي على مستوى الميكرون (μm)، مما يضمن التسخين الموحد والتحديد الدقيق للرقاقة على الحامل، وبالتالي تعزيز اتساق العملية.
4. استقرار كيميائي ممتاز
مقاوم للتآكل الحمضي والقلوي والأكسدة؛ خامل تجاه معظم غازات العمليات والطلاءات المعدنية، مما يضمن عمر خدمة طويل.
5. عزل فائق ومقاومة عالية للتآكل
يتميز بمقاومة عالية للعزل وقوة عازلة، بالإضافة إلى صلابة عالية ومقاومة للتآكل وقوة ميكانيكية، مما يجعله متينًا للغاية ومقاومًا للكسر.
6. جودة سطح ممتازة
تم طحنها وصقلها بدقة لتحقيق خشونة سطح منخفضة (Ra < 0.2 ميكرومتر)؛ خالية من تساقط الجسيمات والمسامية، مما يمنع خدوش الرقاقة.
المعايير الفنية الرئيسية
| غرض | المؤشرات النموذجية |
| مادة | سيراميك الألومينا عالي النقاء (Al₂O₃ ≥ 99.5%) |
| كثافة | ≥ 3.9 جم/سم³ |
| قوة الانحناء | ≥ 380 ميجا باسكال |
| صلابة فيكرز | ≥ 1800 HV |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1600 درجة مئوية (1550 درجة مئوية للاستخدام طويل الأمد) |
| معامل التمدد الحراري (20-1000 درجة مئوية) | 7–8 × 10⁻⁶ /K |
| خشونة السطح | Ra 0.1–0.8 ميكرومتر (قابلة للتخصيص حسب الطلب) |
| التسطيح | ≤ 5 ميكرومتر (حسب المواصفات) |
| الدقة البُعدية | ±0.02 مم |
| قوة العزل الكهربائي | ≥ 15 كيلو فولت/مم |
المواصفات والطراز
سيناريوهات التطبيق النموذجية
1. تصنيع أشباه الموصلات: مناولة ونقل الرقائق داخل أفران الانتشار والأكسدة والتلدين؛
2. ترسيب الأغشية الرقيقة: حوامل الرقائق لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD)، والترسيب الذري الطبقي (ALD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)؛
3. LED / أشباه الموصلات المركبة: حوامل معالجة عالية الحرارة لركائز الياقوت، و SiC، ورقائق GaN المترسبة؛
4. الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة وأجهزة الاستشعار: عمليات التغليف والربط والتلبيد على مستوى الرقاقة؛
5. الخلايا الكهروضوئية والسيراميك الإلكتروني: تلبيد الخلايا الشمسية والمكونات الإلكترونية.
ملخص مزايا المنتج
| أبعاد المقارنة | مزايا صواني نقل الألومينا |
| بالمقارنة مع مستقبلات الكوارتز | قوة ميكانيكية أعلى ومقاومة للتآكل؛ عمر خدمة أطول؛ مقاومة للتشوه. |
| بالمقارنة مع مستقبلات كربيد السيليكون | انخفاض التكلفة، وأداء معالجة جيد، وأبعاد ومواصفات مرنة. |
| بالمقارنة مع صواني الحمل المعدنية | خالٍ من التلوث المعدني، مقاوم لدرجات الحرارة العالية، عازل كهربائياً، ومقاوم للمواد الكيميائية. |
نظام التخصيص والخدمة
طلب عرض أسعار
1. ما هي درجة نقاء الألومينا؟ هل هي 99.5% أم 99.8%؟ هل يمكنك تقديم تقرير اختبار المواد؟
تبلغ نقاوة منتجاتنا المصورة 99.5%. يمكننا تقديم تقرير اختبار المواد، إذا رغبتم بذلك، يرجى التواصل معنا. cindy@w7ceramicspartsltd.com.
2. ما هي مستويات التسطيح والتوازي التي يمكن تحقيقها؟ وهل سيؤثر ذلك على تجانس تسخين الرقاقة؟
يمكننا تحقيق درجة عالية من الدقة والسطح المستوي≤2–3 ميكرومتر،التوازي≤2 ميكرومتر.
3. ما هو التفاوت المسموح به في الأبعاد؟
إنها±0.02 مم.
4. ما هو العمر الافتراضي الطبيعي؟
عمر خدمة منتجاتنا يتراوح بين سنة وثلاث سنوات
5. ما مدى استقرار الإمدادات؟
تبلغ طاقتنا الإنتاجية الشهرية 1000 قطعة.
ترك رسالة
امسح ضوئيًا إلى WeChat :
امسح ضوئيًا إلى واتساب :