ترك رسالة
إذا كنت مهتمًا بمنتجاتنا وترغب في معرفة المزيد من التفاصيل، يرجى ترك رسالة هنا، وسنرد عليك في أقرب وقت ممكن.
لوحة توزيع سيراميك الألومينا عالية النقاء بنسبة 99.9% لتقنيات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) والترسيب الكيميائي للبخار ذي الضغط المنخفض (LPCVD) والترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD).
ال لوحة توزيع سيراميك الألومينا بنسبة 99.9% يُعدّ هذا المكوّن الدقيق عنصرًا بالغ الأهمية في معدات حفر أشباه الموصلات، وترسيب الأغشية الرقيقة بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) وتقنية الترسيب الطبقي الذري (ALD). ويُستخدم على نطاق واسع في خطوات المعالجة الرئيسية مثل الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الطبقي الذري (ALD)، والترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)، وحفر البلازما. يتميز بتصميم يجمع بين قنوات تدفق حلزونية متحدة المركز وهيكل عازل للغاز متعدد الطبقات، حيث تعمل هذه الصفيحة على توزيع البلازما وغازات المعالجة بشكل متجانس، مما يضمن اتساق المعالجة على كامل الرقاقة.
لوحة توزيع سيراميك الألومينا عالية النقاء بنسبة 99.9% لتقنيات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) والترسيب الكيميائي للبخار ذي الضغط المنخفض (LPCVD) والترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD).
وصف المنتج
الوظيفة الأساسية لهذا نقاء عالٍAl₂O₃ Cلوحة توزيع الغاز الخزفية تتمثل وظيفة هذه التقنية في توزيع غازات المعالجة بشكل متساوٍ ومستقر على سطح الرقاقة، مما يضمن سماكة موحدة لترسيب الأغشية الرقيقة، ودقة عالية في الحفر، وقابلية تكرار العملية. ويؤثر أداؤها بشكل مباشر على تجانس الأغشية الرقيقة، ودقة الحفر، وإنتاجية العملية أثناء تصنيع الرقاقة. يُصنع هذا المنتج من مادة سيراميكية من الألومينا عالية النقاء (Al₂O₃) (نقاء ≥ 99.9%) باستخدام تقنيات التشكيل الدقيق، والتلبيد بدرجة حرارة عالية، وتصنيع الثقوب الدقيقة فائقة الدقة، مما يوفر مزايا هامة، تشمل استقرارًا كيميائيًا عاليًا، ومقاومة ممتازة للتآكل، وعزلًا كهربائيًا عاليًا، وانخفاضًا في توليد الجسيمات، مما يجعله بديلاً مثاليًا لألواح توزيع الغاز المعدنية التقليدية.
الخصائص الرئيسية للمواد
يُعد سيراميك الألومينا عالي النقاء بنسبة 99.9% (المعروف أيضًا باسم الألومينا من الدرجة 3N) أحد المواد المفضلة لمكونات معدات أشباه الموصلات، حيث يوفر الخصائص المتميزة التالية:
| مؤشرات الأداء | القيم النموذجية | الأهمية الوظيفية |
| نقاء | ≥99.9% (Al₂O₃) | محتوى شوائب منخفض للغاية لمنع تلوث الرقائق المعدنية. |
| كثافة | 3.9–3.94 جم/سم³ | بنية كثيفة، خالية من الفراغات، تمنع نفاذ الغاز وتسربه. |
| صلابة فيكرز | 18-20 جيجا باسكال (حوالي 2000 HV) | مقاومة عالية للتآكل، مما يطيل عمر الخدمة. |
| قوة الانحناء | 330–400 ميجا باسكال | قوة ميكانيكية عالية؛ يتحمل ضغوط التركيب والتشغيل. |
| معامل المرونة | 390–393 جيجا باسكال | صلابة عالية؛ يحافظ على استقرار الأبعاد. |
| الموصلية الحرارية | 27–32 واط/(م·ك) | معادلة سريعة لدرجة الحرارة؛ تعمل على استقرار مجال درجة حرارة العملية. |
| معامل التمدد الحراري | 8.0×10⁻⁶ /ك | يتوافق مع التمدد الحراري لرقائق السيليكون، مما يقلل من الإجهاد الحراري. |
| أقصى درجة حرارة تشغيل | 1700 درجة مئوية | متوافق مع عمليات الترسيب والتلدين ذات درجات الحرارة العالية. |
| المقاومة الحجمية | >10¹⁴ أوم·سم (20 درجة مئوية) | خصائص عزل كهربائي ممتازة؛ تمنع التلف الناتج عن الكهرباء الساكنة. |
| ثابت العزل الكهربائي | ≈9.7 | مناسب لبيئات البلازما عالية التردد. |
| الفقد العازل | <3.0×10⁻⁴ | يضمن انخفاض الفقد العازل كفاءة نقل الترددات اللاسلكية. |
| قوة العزل الكهربائي | >15 كيلو فولت/مم | مقاومة عالية للانهيار العازل |
هيكل المنتج والمبادئ الوظيفية
1. الوظائف الأساسية
تتمثل الوظيفة الأساسية لرأس الرش في تحويل غازات المعالجة الداخلة المركزة - عبر قنوات دقيقة داخلية ومصفوفات من الثقوب المجهرية - إلى تدفق صفائحي منخفض الاضطراب ومتجانس للغاية، يتم توزيعه بالتساوي على سطح الرقاقة. ويحقق ذلك ما يلي:
(1) توحيد ترسيب الأغشية الرقيقة: يضمن تجانس سمك الفيلم عبر سطح الرقاقة <±3%.
(2) توحيد الحفر: يمنع الحفر الزائد أو الحفر الناقص الموضعي.
(3) توزيع البلازما المنتظم: يعمل كقطب كهربائي في عمليات PECVD/الحفر لتوليد مجال كهربائي منتظم.
(4) التحكم المنسق في درجة الحرارة: يعمل بالتزامن مع حامل الرقاقة للحفاظ على درجات حرارة عملية مستقرة.
2. التركيب الهيكلي النموذجي
| الوحدة الهيكلية | وصف الميزة | متطلبات الدقة |
| غرفة توزيع الغاز | يعمل على تحسين مسارات تدفق الهواء الداخلية ويستخدم محاكاة ديناميكيات الموائع الحسابية لتقليل فقدان الضغط، مما يضمن توزيعًا موحدًا للغاز. | تفاوت العداء ±0.05 مم |
| مصفوفة المسام الدقيقة | تعمل الثقوب المتراصة بكثافة والتي يتراوح قطرها بين 0.1 و 1.0 مم على تحويل الغاز إلى تدفق صفائحي منتظم. | تفاوت فتحة العدسة ±0.01 مم |
| سطح مانع للتسرب | يعمل بالتزامن مع مانع التسرب الموجود في التجويف لمنع تسرب الغاز. | التسطيح ≤ ±2 ميكرومتر |
| طلاء السطح (اختياري) | طبقات من كربيد السيليكون أو النيتريد المقاومة للتآكل، يتم ترسيبها عبر تقنية الترسيب الفيزيائي للبخار/الترسيب الكيميائي للبخار | توحيد سمك الطلاء ±5% |
المعايير الفنية الرئيسية
| عناصر المعلمات | المواصفات الفنية |
| درجة النقاء | ≥99.9% (درجة 3N)؛ 99.99% (درجة 4N) اختياري |
| حجم الحبوب | متوسط <6 ميكرومتر (بنية دقيقة كثيفة) |
| معدل امتصاص الماء | 0% (تلبيد كامل الكثافة) |
| نفاذية الغاز | 0% (اجتاز اختبار تسرب الهيليوم) |
| قطر المسام الدقيقة | Φ0.2–6 مم (يتم تخصيصها وفقًا للعملية) |
| تحمل المسام الدقيقة | ±0.01 مم |
| نسبة عمق الثقب الصغير إلى قطره | حتى 50:1 |
| خشونة جدار البئر | Ra ≤ 0.2 ميكرومتر |
| استواء السطح | ≤±2 ميكرومتر (المنطقة بأكملها) |
| خشونة السطح | Ra ≤0.01–0.1 ميكرومتر (قادر على التلميع المرآوي) |
| مواصفات الرقاقة المطبقة | 6 بوصة / 8 بوصة / 12 بوصة |
| أقصى قطر خارجي | قطر 300 مم وما فوق (قابل للتخصيص) |
| نطاق درجة حرارة التشغيل | درجة حرارة محيطة تصل إلى 1000 درجة مئوية |
| غاز مقاوم للتآكل | F₂، Cl₂، CF₄، SF₆، HF، O₂، NH₃، وما إلى ذلك |
المزايا التنافسية الأساسية للمنتج
1. نقاء فائق، خالٍ من التلوث المعدني
الطهارة ≥99.9%؛ مستويات الشوائب (على سبيل المثال، Na، Si) <100 جزء في المليون
لا يحدث تسرب لأيونات المعادن، مما يمنع تلوث الرقائق بالمعادن
يفي بمتطلبات نقاء المواد الصارمة لعقد المعالجة المتقدمة (≤7 نانومتر)
2. مقاومة استثنائية للتآكل
مقاومة عالية للغازات البلازمية شديدة التآكل، مثل الغازات القائمة على الفلور (F₂، CF₄، SF₆) والغازات القائمة على الكلور (Cl₂).
تمنع البنية المجهرية الكثيفة نفاذ الغازات المسببة للتآكل، مما يحول دون حدوث التآكل الداخلي.
يحافظ على سلامة السطح لفترات طويلة في بيئات الحفر بالبلازما ويولد الحد الأدنى من الجسيمات
3. تقنية تصنيع الثقوب الدقيقة
تستخدم عملية هجينة تجمع بين الحفر بالليزر والطحن الدقيق لتحقيق دقة عالية في تشكيل الثقوب الدقيقة.
يحافظ على ثبات قطر الفتحة بمقدار ±0.01 مم، مما يضمن توزيعًا منتظمًا لتدفق الغاز.
قادرة على تشكيل ثقوب دقيقة فائقة العمق بنسبة عرض إلى ارتفاع تبلغ 50:1، مما يلبي متطلبات تصميمات مسار تدفق الهواء المعقدة.
4. استقرار حراري ممتاز وخصائص عزل حراري فائقة
يتطابق معامل التمدد الحراري مع معامل رقائق السيليكون، مما يؤدي إلى الحد الأدنى من التشوه أثناء تقلبات درجة الحرارة.
مقاومة حجمية >10¹⁴ أوم·سم؛ تحافظ على عزل كهربائي مستقر في بيئات البلازما عالية التردد.
ثابت عزل كهربائي مستقر؛ مناسب لنقل طاقة الترددات الراديوية بترددات أعلى من 1 جيجاهرتز
5. عمر خدمة طويل للغاية وتكاليف صيانة منخفضة
صلابة فيكرز تتراوح بين 18 و20 جيجا باسكال؛ مقاومة للتآكل تفوق بكثير المواد التقليدية مثل سبائك الألومنيوم.
يبلغ عمر الخدمة في البيئات المسببة للتآكل من 3 إلى 5 أضعاف عمر ألواح التدفق المعدنية
يقلل من تكرار فترات التوقف المتعلقة بالصيانة ويحسن فعالية المعدات الإجمالية (OEE).
6. ضمان نقاء عالٍ
سطح قابل للتلميع حتى يصبح لامعًا كالمرآة (Ra < (0.01 ميكرومتر) مع الحد الأدنى من تساقط الجسيمات
متوافق مع معايير غرف التنظيف من الفئة 1
يمنع الهيكل الكثيف تمامًا والخالي من المسام انحباس الغاز والتلوث المتبادل.
التطبيقات
1. الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)
في معدات ترسيب الأغشية الرقيقة مثل PECVD و LPCVD و MOCVD، تقوم لوحة توزيع الغاز بتوزيع الغازات الأولية بشكل موحد على سطح الرقاقة، مما يتيح الترسيب عالي الجودة لـ SiO₂ و Si₃N₄ والسيليكون متعدد التبلور والأغشية المعدنية (مثل TiN و W).
2. ترسيب الطبقات الذرية (ALD)
تفرض عملية الترسيب الذري الطبقي متطلبات عالية للغاية فيما يتعلق بتجانس الغاز؛ تحافظ ألواح توزيع غاز الألومينا عالية النقاء على الاستقرار الهيكلي عند درجات حرارة عالية تتجاوز 600 درجة مئوية، مما يضمن التحكم الدقيق في سمك الفيلم على مستوى الطبقة الذرية.
3. الحفر بالبلازما
في معدات الحفر الجاف، تقوم صفيحة توزيع الغاز - التي تعمل أيضًا كقطب كهربائي بترددات الراديو - بإدخال غازات الحفر (مثل CF₄ و Cl₂ و SF₆) بشكل منتظم إلى حجرة البلازما، مع تحملها لقصف الأيونات عالية الطاقة. ويُظهر الألومينا عالي النقاء مقاومةً للتآكل البلازمي تفوق بكثير مقاومة المواد المعدنية.
4. الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)
في معدات الترسيب بالرش، يتم استخدام لوحة توزيع الغاز لتوزيع غازات الرش بالتساوي (مثل الأرجون والنيتروجين) والحفاظ على بيئة بلازما رش مستقرة.
5. تصنيع التغليف المتقدم ولوحات العرض
في تغليف الرقاقات على مستوى الرقاقة (WLP) والتغليف المروحي ومعدات تبخير OLED، تُستخدم ألواح توزيع الغاز المصنوعة من الألومينا عالية النقاء للتوزيع الدقيق لغازات العملية، مما يضمن إنتاجية التغليف وانبعاث الضوء بشكل موحد في لوحات العرض.
إمكانيات التخصيص
نقدم خدمات تصميم وتصنيع شاملة ومخصصة، مصممة خصيصاً لتناسب نماذج المعدات المحددة ومتطلبات العمليات:
تُصنّع جميع المنتجات وتُنظّف وتُفحص وتُغلّف في بيئة غرفة نظيفة من الفئة 10 (ISO 4) لضمان وصولها خالية من التلوث بالجسيمات. وتُرفق بكل دفعة تقارير شاملة تتضمن التحليل العنصري، والفحص البُعدي، واختبار تسرب الهيليوم.
ورشة عملنا
ورشة عمل CNC |
غرفة الاختبار |
ورشة تجليخ الأسطح |
ورشة التلبيد |
ورشة طحن دائرية |
ورشة ماكينات قولبة الحقن |
لماذا تختارنا؟
1. البحث والتطوير المخصص، بدلاً من تكييف المنتج القياسي
2. التحكم العميق في علم المواد: اختيار المواد بناءً على الاحتياجات، وتحسين البنية المجهرية، وتناسق الدفعات
3. قدرة التصنيع الدقيق: يمكن أن تصل درجة التسطيح إلى 0.001 مم، والتوازي إلى 0.002 مم، والخشونة Ra إلى 0.1 ميكرومتر.
التعليمات
س1: ما هي المنتجات التي تقدمها شركتكم؟
نحن متخصصون في السيراميك عالي الأداء مثل الألومينا ونيتريد السيليكون، ونوفر مواد عازلة ومكونات هيكلية وأجزاء مقاومة للتآكل وحلولاً مخصصة.
س2: هل يمكنك تخصيص الأجزاء غير القياسية؟
نعم. نحن ندعم المعالجة بناءً على الرسومات المقدمة والتطوير التقني التعاوني، ونقدم خدمة عملية كاملة من التصميم إلى الإنتاج الضخم.
س3: ماذا عن الدقة ووقت التسليم؟
التفاوت القياسي ±0.05 مم، درجة الدقة ±0.01 مم؛ العينات من 7 إلى 15 يومًا، الطلبات بالجملة من 20 إلى 30 يومًا.
س4: ما هي مجالات التطبيق الرئيسية؟
صناعات الطاقة والإلكترونيات والآلات والكيماويات والفضاء.
س5: ما هي إجراءات ضمان الجودة؟
فحص الجودة الشامل للعملية، وتقديم تقارير المواد وبيانات اختبار الأداء، ودعم شهادات واختبارات الجهات الخارجية.
س6: هل تقدمون الدعم الفني؟
نقدم دعماً احترافياً يشمل استشارات اختيار المواد، وتحسين التصميم، وتحليل الأعطال.
IPv6 الشبكة المدعومة
ترك رسالة
امسح ضوئيًا إلى WeChat :
امسح ضوئيًا إلى واتساب :
