حلول أشباه الموصلات

تصنيع الرقائق ومعالجتها حرارياً

في مجال تصنيع أشباه الموصلات، نقدم سلسلة متكاملة من حلول المكونات الخزفية عالية الأداء، بدءًا من نقل الرقاقات وتحديد مواقعها وصولًا إلى المعالجة الحرارية في درجات حرارة عالية. ندرك أن حتى التلوث على مستوى الميكرون أو التقلبات في الأبعاد أثناء عملية التصنيع قد تؤثر بشكل مباشر على إنتاجية الرقائق. لذلك، نركز على تزويد عملائنا بمكونات أساسية تحافظ على مستويات عالية من النظافة والاستقرار والدقة حتى في البيئات القاسية، وذلك من خلال ابتكار المواد والتصنيع الدقيق.

1. نقل الرقاقة وتحديد موضعها

سيناريو الصناعة: في صناعة الرقائق، يفرض النقل الآلي والتحديد الدقيق للموقع متطلبات بالغة الأهمية فيما يتعلق بالنظافة، والخمول الكيميائي، وثبات الأبعاد. أي تلوث أو تآكل أو إزاحة على مستوى الميكرون قد يؤدي إلى انخفاض إنتاجية الرقائق.

حلول السيراميك: نحن نقدم ذراع روبوتية على شكل رقاقة سيراميكيةتتضمن هذه المكونات رؤوس تثبيت سيراميكية كهروستاتيكية، وموجهات سيراميكية دقيقة، ودبابيس تحديد المواقع مصنوعة من الألومينا عالية النقاء، أو نتريد الألومنيوم، أو كربيد السيليكون. تخضع جميع المكونات لعمليات تلميع دقيقة وتنظيف صارم لتحقيق معايير سطح فائقة النظافة، ويمكن تخصيصها لتلبية متطلبات واجهة المعدات وتحمل الأحمال المحددة.

القيمة الأساسية: نحن نحل بشكل مباشر مشاكل انحراف التموضع وتلوث المنتج الناتج عن التلوث أو التآكل أو التمدد الحراري لمكونات النقل.المكونات الخزفيةتتمتع بخمول كيميائي جوهري، مما يضمن عدم حدوث أي تلوث عند ملامسة الرقاقة؛ كما أن صلابتها العالية للغاية ومعامل التمدد الحراري المنخفض يضمنان دقة تحديد المواقع على مستوى الميكرون بشكل ثابت حتى في الحركة عالية السرعة والبيئات المتغيرة درجة الحرارة، مما يدعم قابلية التكرار العالية وعمر الخدمة الطويل للغاية للمعدات.

2. عمليات المعالجة الحرارية ذات درجات الحرارة العالية

سيناريوهات الصناعة: تتطلب عمليات المعالجة الحرارية، مثل الانتشار والأكسدة والتلدين والترسيب الكيميائي للبخار، بيئات ذات درجات حرارة عالية (تصل إلى 1300 درجة مئوية) ومستويات نظافة عالية. يجب أن تتمتع حجرات المعالجة والمكونات الداعمة لها بثبات ممتاز في درجات الحرارة العالية، ومقاومة للصدمات الحرارية، وخصائص انبعاث غازات منخفضة لضمان تجانس العملية وإطالة عمر المعدات.

  حلول السيراميكنُقدّم مجموعةً متكاملةً من المواد الاستهلاكية ومكونات المعالجة الحرارية لأنابيب الأفران الأفقية والرأسية، بما في ذلك أنابيب الأفران الخزفية عالية الحرارة (مطلية بالكوارتز وكربيد السيليكون)، وقوارب خزفية متعددة الأخاديد، وحواجز عازلة حرارية خزفية، وقلوب معلقة، وسخانات خزفية مدمجة. تشمل أنظمة المواد الكوارتز عالي النقاء، والتلبيد التفاعلي، وترسيب كربيد السيليكون بالبخار الكيميائي، لتلبية متطلبات درجة الحرارة والنظافة لمختلف العمليات.

القيمة الأساسية: نعالج بفعالية انحرافات العملية وعيوب الجسيمات الناتجة عن تشوه المكونات في درجات الحرارة العالية، وتلوث الغازات المنبعثة، وعدم انتظام المجالات الحرارية أثناء المعالجة الحرارية. تتميز مكوناتنا الخزفية بانعدام الزحف تقريبًا في بيئات درجات الحرارة العالية لفترات طويلة، كما أنها تتمتع بمعامل تمدد حراري منخفض للغاية، مما يضمن تباعدًا ثابتًا بين الرقاقات ومجالًا حراريًا موحدًا. في الوقت نفسه، تحافظ خصائص انبعاث الغازات المنخفضة للمادة على بيئة عملية نقية، مما يضمن بشكل أساسي تجانس الطبقة الرقيقة وثبات تركيز التطعيم، ويطيل دورات الصيانة بشكل ملحوظ.

لسنا مجرد مورد للمكونات الخزفية، بل شريكك الأمثل في حلول المواد لمواجهة التحديات الصعبة التي تواجه صناعة أشباه الموصلات. من خلال فهمنا العميق لتحديات عملياتكم، نقدم دعمًا شاملاً بدءًا من اختيار المواد والتصميم الهيكلي وصولًا إلى معالجة الأسطح، ضامنين بذلك أعلى مستويات الدقة في عملية التصنيع لديكم بفضل الأداء المتميز لموادنا.

معدات ترسيب الأغشية الرقيقة

في عمليات ترسيب الأغشية الرقيقة (الترسيب الكيميائي للبخار، والترسيب الذري الطبقي)، نقدم مجموعة متكاملة من حلول المكونات الخزفية عالية الأداء. نلبي الاحتياجات الأساسية لمعدات أشباه الموصلات في بيئات ذات درجات حرارة عالية، وبيئات شديدة التآكل، وبيئات عالية الدقة، ونوفر حلولاً شاملة تبدأ من تصميم المواد وصولاً إلى وظائف المكونات، مما يضمن استقرار العملية وإنتاجية الرقائق.

1. امتصاص الرقاقات والتحكم الدقيق في درجة الحرارة

سيناريو الصناعة: أثناء ترسيب الأغشية الرقيقة، يجب أن تكون الرقاقات مستقرة تمامًا وأن يتم التحكم بها بدقة عند درجة حرارة محددة (بدقة ±0.1 درجة مئوية). يؤدي التثبيت الميكانيكي التقليدي أو الامتزاز الفراغي بسهولة إلى تلوث الجانب الخلفي، وتوليد الجسيمات، وعدم تجانس درجة الحرارة، مما يؤثر بشكل مباشر على تجانس سمك الفيلم وخصائصه.

حلول السيراميك: نقدم لكم حوامل تثبيت كهروستاتيكية مصنوعة من مادة نتريد الألومنيوم عالية النقاء. يجمع هذا الحل بين تصميم الأقطاب الكهربائية المخصص وتقنية معالجة السيراميك الدقيقة لتحقيق تثبيت رقائق السيليكون دون تلامس وبدون إجهاد.

القيمة الأساسية: حل مشكلة عدم تجانس الأغشية الرقيقة الناتجة عن عدم استقرار الامتزاز أو تفاوت درجات الحرارة لعملائنا. يوفر حامل التثبيت الكهروستاتيكي الخاص بنا قوة جذب كهروستاتيكي عالية، مستفيدًا من الموصلية الحرارية العالية وخصائص العزل لنيتريد الألومنيوم لتحقيق استجابة سريعة لدرجة الحرارة وتوزيع متجانس على الجانب الخلفي للرقاقة، مما يضمن تكرار عملية الترسيب وكفاءتها.

2. التوزيع المنتظم للغازات المتفاعلة وتوليد البلازما المستقرة

سيناريو صناعي: يُعدّ تجانس توزيع غازات التفاعل داخل الحجرة واستقرار البلازما عاملين حاسمين في تحديد اتساق تركيب وسمك طبقة الطلاء. وتكون رؤوس الرش المعدنية عرضةً للتآكل عند تعرضها للبلازما لفترات طويلة، مما يُولّد جزيئات ويُغيّر مجال تدفق الهواء، الأمر الذي يؤدي إلى انحراف العملية وتلوثها.

حلول السيراميك: نوفر رؤوس رش غاز/أقطاب علوية مصنوعة من سبائك الألومنيوم ومطلية بأكسيد الإيتريوم (Y₂O₃) باستخدام الأنودة أو الرش البلازمي. يتيح هذا الحل تصميمًا مثاليًا للفتحة وقناة التدفق بناءً على غازات العملية ومتطلبات الطاقة لدى العميل.

القيمة الأساسية: حل مشكلات عدم استقرار العمليات الناتجة عن تآكل المكونات وتلوثها. تعمل رؤوس الرش المطلية بالسيراميك لدينا على تعزيز مقاومة التآكل البلازمي بشكل كبير، والحفاظ على توزيع مستقر لتدفق الهواء على المدى الطويل، وباعتبارها القطب العلوي، فإنها تضمن توليدًا موحدًا وفعالًا للبلازما، مما يطيل فترات الصيانة ويقلل من عيوب الجسيمات.

3. تسخين سريع ومتجانس واستقرار العملية عند درجات الحرارة العالية

سيناريو الصناعة: يتطلب ترسيب الأغشية الرقيقة تسخين الرقاقات بسرعة وبشكل متجانس إلى درجات حرارة المعالجة (عادةً ما بين 300 و600 درجة مئوية) والحفاظ على استقرارها خلال العمليات طويلة الأمد. تعاني السخانات التقليدية من بطء الاستجابة الحرارية، وتدرجات حرارية كبيرة، أو تلوث بانبعاث الغازات من المواد.

الحل الخزفي: نحن نقدم ركائز تسخين مصنوعة من الجرافيت عالي النقاء مع طبقة كثيفة من كربيد السيليكون (SiC) المترسب كيميائياً بالبخار (CVD)، أو سخانات كربيد السيليكون المتلبدة الكثيفة بشكل متكامل.

القيمة الأساسية: حلّ مشاكل انخفاض كفاءة التسخين، وعدم انتظام درجة الحرارة، واحتمالية التلوث لعملائنا. تستفيد حلولنا من الموصلية الحرارية الممتازة وقوة تحمل درجات الحرارة العالية لكربيد السيليكون لتحقيق تسخين سريع وتجانس حراري شعاعي ممتاز. كما تضمن نقاوته العالية وانخفاض انبعاث الغازات منه نظافة حجرة المعالجة، مما يدعم نطاقات تشغيل أكثر دقة.

4. سيناريوهات حماية التجويف على المدى الطويل وتحسين توحيد حواف العملية

سيناريوهات الصناعة: تتعرض الجدران المعدنية الداخلية لتجاويف المعالجة للتآكل باستمرار في بيئة البلازما، وتلوث الجسيمات المنفصلة الرقاقة؛ وفي الوقت نفسه، يؤدي غلاف البلازما غير المتساوي عند حواف الرقاقة إلى سمك حافة الفيلم غير الطبيعي، مما يؤثر على مساحة الشريحة الفعالة.

حلول السيراميك: حماية التجويف: نحن نقدم بطانات متكاملة من أكسيد الإيتريوم (Y₂O₃) وأكمام واقية يتم تشكيلها عن طريق الرش البلازمي أو التلبيد، مما يحقق ملاءمة محكمة مع التجويف.

تحسين توحيد الحواف: نحن نقدم حلقات تركيز مصنعة بدقة من الكوارتز عالي النقاء أو الألومينا أو نتريد السيليكون، مع تحسين شكلها وثابت العزل الكهربائي الخاص بها وفقًا لعملية العميل المحددة.

القيمة الأساسية: حل مشكلات تلوث التجويف وعمر الخدمة: تشكل البطانة الخزفية حاجزًا مقاومًا للتآكل للعملاء، مما يقلل بشكل كبير من التآكل وتوليد الجسيمات في التجويف المعدني، ويطيل عمر التجويف الأساسي، ويقلل من تكاليف قطع الغيار.

معالجة مشاكل توحيد الحواف: تعمل حلقات التركيز المخصصة على تحسين توحيد الأغشية الرقيقة في حواف الرقاقة بشكل فعال من خلال تحسين توزيع المجال الكهربائي وتدفق الهواء، مما يزيد من إنتاجية الرقاقة لكل رقاقة.

نحن ملتزمون بأن نكون شريكًا موثوقًا به لمصنعي معدات ترسيب الأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات. لا نقتصر على توفير مكونات خزفية قياسية عالية الأداء فحسب، بل نقدم أيضًا حلولًا متكاملة مصممة خصيصًا لتلبية متطلبات عمليات عملائنا، بدءًا من اختيار المواد والتصميم الهيكلي وصولًا إلى التصنيع الدقيق، لنعمل معًا على مواجهة تحديات العمليات المتقدمة.

آلة حفر أشباه الموصلات

في مجال معدات الحفر بالبلازما لأشباه الموصلات، نقدم حلولاً أساسية للمكونات الخزفية. نلبي المتطلبات القصوى للتجانس والدقة والنظافة في عمليات الحفر، ونضمن استقرار العملية ونحسن إنتاجية الرقائق من خلال تصميم دقيق للمواد والهياكل.

1. اقتران طاقة الترددات الراديوية وتوليد البلازما

سيناريو صناعي: في معدات الحفر مثل ICP، من الضروري ربط طاقة الترددات الراديوية بكفاءة بتجويف المعالجة لتوليد بلازما عالية الكثافة، مع عزل البلازما في الوقت نفسه عن نظام الترددات الراديوية الخارجي. المواد التقليدية عرضة للتآكل أو فقدان الطاقة عند القدرة العالية، مما يؤثر على استقرار العملية.

حلول السيراميك: نقدم نوافذ/أغطية عازلة مصنعة بدقة باستخدام الكوارتز عالي النقاء أو نتريد الألومنيوم. يتميز هذا المكون، الذي يعمل كغطاء علوي للتجويف، بسماكة وثابت عزل كهربائي دقيقين، ويمكن تخصيصه لتلبية متطلبات التردد والطاقة لدى العميل.

القيمة الأساسية: نحلّ مباشرةً مشكلتي انخفاض كفاءة اقتران طاقة الترددات الراديوية وقصر عمر المكونات. تتميز نوافذنا العازلة بخصائص عازلة ممتازة ومقاومة عالية للغاية لتآكل البلازما، مما يضمن نقل طاقة الترددات الراديوية بكفاءة واستقرار إلى التجويف، والحفاظ على كثافة بلازما مستقرة، وإطالة عمر المواد الاستهلاكية الرئيسية بشكل ملحوظ، وبالتالي خفض تكاليف تشغيل المعدات.

2. التحكم الدقيق في درجة حرارة الرقاقة وتثبيتها

سيناريو الصناعة: في عمليات الحفر، تُعد درجة حرارة الرقاقة أحد أهم العوامل المؤثرة على معدل الحفر، والانتقائية، وتجانس الأبعاد الحرجة. يجب تثبيت الرقاقات بإحكام والتحكم بدقة في درجة حرارتها، مع تحمل الظروف القاسية لتبريد الهيليوم من الخلف وقصف البلازما من الأمام.

حلول السيراميك: نقدم لكم ظرف تثبيت كهرساكن مصنوع من نتريد الألومنيوم أو الألومينا. يدمج هذا الحل نظام تسخين متعدد المناطق وقنوات تبريد خلفية بالهيليوم، مع أسطح مصنعة بدقة لضمان استواء السطح والتصاق متجانس.

القيمة الأساسية: نعالج بفعالية مشاكل عدم انتظام عملية الحفر وعيوب النقش الناتجة عن تفاوت درجة حرارة الرقاقة أو عدم استقرار الالتصاق. تتميز مثبتاتنا الكهروستاتيكية بموصلية حرارية وعزل ممتازين، بالإضافة إلى تصميم تحكم متعدد المناطق في درجة الحرارة، مما يحقق تجانسًا في درجة حرارة سطح الرقاقة بمستوى ±0.5 درجة مئوية؛ ويضمن الالتصاق الكهروستاتيكي القوي عدم انزلاق الرقاقة أثناء العملية، مما يوفر إدارة حرارية مستقرة ومرجعًا ميكانيكيًا لعمليات الحفر المتقدمة.

3. التحكم في توحيد الحواف في عمليات الحفر

سيناريو الصناعة: في عملية الحفر بالبلازما، ونظرًا للتوزيع غير المتجانس للمجال الكهربائي وتدفق الغاز عند الحواف، غالبًا ما يختلف معدل الحفر وشكله في منطقة حافة الرقاقة عن تلك الموجودة في المنطقة المركزية. وهذا يؤثر بشكل مباشر على المساحة الفعالة وإنتاجية الشريحة.

حلول السيراميك: نقدم حلقات تركيز مصنعة بدقة عالية من مواد مثل نتريد الألومنيوم. يمكن تحسين شكلها وحجمها وثابت العزل الكهربائي وفقًا لطراز معدات العميل وتركيبة العملية المحددة.

القيمة الأساسية: نعالج على وجه التحديد التحدي الشائع في الصناعة والمتمثل في عدم انتظام عملية الحفر عند حواف الرقاقة. تعمل حلقات التركيز المُخصصة لدينا على التحكم الفعال في معدل الحفر في منطقة الحافة من خلال تحسين توزيع غلاف البلازما وتدفق الغاز التفاعلي عند حافة الرقاقة، مما يُحسّن بشكل كبير من تجانس الحفر في الرقاقة بأكملها، وبالتالي يزيد من عدد الرقائق القابلة للاستخدام لكل رقاقة.

نحن ملتزمون بأن نصبح شريكًا استراتيجيًا لمصنعي معدات الحفر ومصانع الرقائق، لا نقتصر على تقديم خدماتنا فقط. مكونات سيراميكية قياسية عالية الأداءولكن أيضًا تطوير مخصص شامل بدءًا من صياغة المواد والمحاكاة وحتى التصنيع الدقيق لمعالجة تحديات العمليات الأكثر تطورًا، ودفع حدود دقة عملية الحفر بشكل مشترك.